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PRIOR纳米压电位移台 长行程 高精度 压电纳米定位
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PRIOR纳米压电位移台 长行程 高精度 压电纳米定位

PRIOR纳米压电位移台长行程高精度压电纳米定位

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产品特性:高精度品牌:PRIOR型号:SP-Mini-500
工作台类型:纳米压电定位台样品或现货:现货是否标准件:是
是否库存:否是否批发:否

长行程,高精度,压电纳米定位,紧凑型纳米压电定位台SP-Mini-500

英国Prior·queenstage 推出的压电纳米定位平台:SP-Mini-500紧凑型纳米压电位移台,是一款用于纳米样品定位的长行程电动Z轴,闭环行程500um。SP-Mini-500压电纳米定位台,占地面积小,是理想的易于集成在仪器或测试设备中的紧凑型纳米压电定位台。该Prior·queenstage的纳米压电位移平台具有非常低的运动误差,内置电容式定位传感器可实现超高速性能和低纳米级重复性。

SP-Mini-500紧凑型纳米压电位移台的平台在整个500微米的行程范围内保持非常稳定的状态。这使得样品架可以偏移放置。此电动Z轴在保持高性能定位的同时提高了对检测设备对于样品的定位能力。此Prior?queenstage的压电纳米定位台的样品架和载物台可以定制,以适应从显微镜到硬盘测试和半导体检测的广泛应用。


紧凑型纳米压电定位台SP-Mini-500的主要特点:

->500 um行程,纳米级分辨率

-非常低的旋转误差:0.0025°

-电容式定位传感器,提供较高位置***度和准确度。2 nm分辨率和5 nm重复度

-线性误差一般为<0.002%

-动态性能:空载谐振频率一般为210 Hz,同服环路带宽可达55 HZ

-原位扫描和步进响应优化

-即插即用:载物台连接器包含载物台校准数据和参考传感器,便于控制器互换

-压电纳米定位


SP-Mini-500压电纳米定位台主要应用:

 -高精度显微镜:共聚焦和光片等

 -硬盘检测

 -半导体检测和制造

 -配合科学和医疗研究设备使用

-镜片定位

-纳米压电位移和纳米样品定位等



压电纳米定位台SP-Mini-500的技术规格    


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