MEMS（微机电系统）可变形镜面技术MEMS可变形反射镜

Boston Micromachines公司***了MEMS（微机电系统）可变形镜面技术，MEMS可变形反射镜用于***的光学控制。这些微型***变形镜使世界研究人员能够在天文学、显微镜技术、激光控制和视网膜成像方面取得突破。在MEMS可变形反射镜开发和扩展到全高分辨率成像系统方面，Boston Micromachines公司致力于推动光子学应用领域的研发。

维尔克斯光电为用户提供来自Boston Micromachines Corporation(BMC)的微机电可变形反射镜和微机电分段变形镜，类型主要分为低致动器数DM、中执行器计数DM以及高执行器数MEMS可变形反射镜。

Multi-DM可变形镜能够实现高达5.5μm的行程、2 kHz的帧速率、亚纳米级步长且无滞后。以X-Driver的形式为Multi-DM系统提供高速电子升级。

中执行器数DM系统是***波前校正器，适用于天文学、激光通信和远程成像等要求严苛的应用，提供三种类型：Kilo-DM、492-DM和648-DM。

Kilo-DM可变形镜是用于***、高速、高分辨率波前控制的使能组件。多达1020个执行器控制在1纳米以下的精度且无滞后，该系统非常适合要求严苛的应用。

作为流行的Kilo-DM可变形镜的替代品，492-DM和648-DM可以以***的***使用并产生***的效果。492-DM和648-DM系统分别将492和648执行器的精度控制在1 nm以下且无滞后，是天文学和下一代成像应用的理想选择。

Boston Micromachines的MEMS可变形反射镜其中低制动器数MEMS反射镜是用于***波前控制的经济且通用的像差调制解决方案，具有高达140个***控制的元件和低致动器间耦合，Multi-DM系统是包括显微镜、天文学、视网膜成像和激光束整形应用在内的***应用的理想选择。这种DM可用于自适应光学或空间光调制器应用的连续和分段表面。

Boston Micromachines Corporation(BMC)是高执行器数MEMS变形镜技术的行业***，这些反射镜部署在世界各地***的天文设施中，用以提高波前校正能力，其中4K-DM安装在双子座行星成像仪器上2K-DM则包含在多个空间望远镜概念的设计中。

此外，2K-DM被安装为斯巴鲁日冕仪***自适应光学（SCExAO）仪器和麦哲伦望远镜(MagAO-X)的实验性日冕***自适应光学系统中的启用组件。多年来，两者都一直在空中观测中持续运行。

MEMS可变形反射镜反射镜特点：

-大阵列产生高分辨率波前校正。

-***的微结构允许对高空间频率表面的相邻执行器之间的影响***小

-优化设计可实现高速应用的快速波前整形

微机电分段变形镜，MEMS可变形反射镜规格：

请注意：填充系数>98%(SLM)，表面形状：<30 nm

*自定义执行器可根据要求提供

微机电可变形反射镜, MEMS变形镜规格：

请注意：填充系数>***(DM)，表面形状：<30>*自定义执行器可根据要求提供

MEMS可变形反射镜可用的选项：

* 亚纳米级平均步长

** S-Driver 不适用于648 DM